噴膠機

噴膠機性能要求
1.可(kě)用(yòng)于對(duì)不同形狀尺寸的(de)基片進行噴膠.最大(dà)噴膠尺寸要求達到8寸。
2.可(kě)對(duì)不同粘度的(de)膠進行噴塗，供膠分(fēn)辨率在15uL以内。
3.可(kě)對(duì)大(dà)深寬比結構進行側壁塗膠，得(de)到厚度均勻的(de)膠膜。
4.噴膠均勻性要求：單片表面≤±15%，片間爲≤±10%。
5.計算(suàn)機系統控制工藝參數。
6.可(kě)手動卸載基片。
7.噴膠室易清洗。
8.供膠流速和(hé)流量可(kě)編程。
9供膠回吸量可(kě)調節。
10.适用(yòng)于所有光(guāng)刻膠和(hé)聚合物(wù)。
11.具有自動針管式膠液供給系統，可(kě)調節壓力控制及測量膠量，并具有膠液回吸功能。

12.基片可(kě)對(duì)準。